Деаэраторы сверхчистой воды для электронной промышленности в основном используют физические или химические методы удаления растворенного кислорода. Наиболее распространённый физический метод — вакуумная деаэрация, при которой давление в деаэраторе снижается для выделения растворенного кислорода из воды. С понижением давления, согласно закону Генри, растворимость растворённых газов в воде уменьшается, высвобождая растворённый кислород. Этот кислород затем удаляется вакуумным насосом. Химические методы используют химические вещества, которые реагируют с растворённым в воде кислородом для удаления кислорода.
В электронной промышленности качество сверхчистой воды имеет решающее значение для производства электронных изделий. Растворённый в воде кислород может оказывать множество негативных воздействий на производство электронных компонентов. Например, при производстве полупроводниковых микросхем растворённый кислород может вступать в химическую реакцию с такими материалами, как кремний, образуя оксидный слой, влияющий на электрические характеристики и стабильность микросхемы. Деаэратор, работающий при комнатной температуре, эффективно удаляет растворённый кислород из сверхчистой воды при комнатной температуре, обеспечивая её качество и соответствие строгим требованиям электронной промышленности к сверхчистой воде. Это повышает выход годной продукции и производительность электронных изделий.
Как правило, в деаэраторах сверхчистой воды для электронной промышленности используются физические или химические методы удаления растворенного кислорода. Наиболее распространённый физический метод основан на принципе вакуумной деаэрации, при котором давление в деаэраторе снижается для выделения растворенного кислорода из воды. При снижении давления, согласно закону Генри, растворимость растворённых газов в воде уменьшается, что приводит к выделению растворённого кислорода. Этот кислород затем удаляется вакуумным насосом. Химические методы используют химические вещества, реагирующие с растворённым в воде кислородом для его удаления. Например, восстановители, такие как сульфит натрия, быстро реагируют с растворённым в воде кислородом, образуя сульфат натрия, тем самым достигая желаемого эффекта удаления кислорода.
1.Высокоточная деоксигенация : позволяет снизить содержание растворенного кислорода в сверхчистой воде до крайне низких уровней, обычно достигающих микрограммов или даже ниже, что соответствует чрезвычайно высоким требованиям к чистоте сверхчистой воды в электронной промышленности.
2.Работа при нормальной температуре : в отличие от традиционных термических деаэраторов, требующих высоких температурных условий, деаэраторы при нормальной температуре могут работать при комнатной температуре, что не только экономит энергию, но и позволяет избежать других воздействий, которые высокая температура может оказывать на качество сверхчистой воды, а также снижает потери оборудования и затраты на техническое обслуживание, вызванные высокой температурой.
3.Высокая степень автоматизации : благодаря передовой системе управления, установка может контролировать и регулировать различные параметры процесса деоксигенации, такие как давление, расход и содержание растворенного кислорода, в режиме реального времени, обеспечивая стабильность и надежность процесса. Операторам достаточно задать параметры, и оборудование будет работать автоматически, что сокращает ручное вмешательство и повышает эффективность производства.
4.Строгие требования к материалам : Чтобы сам деаэратор не загрязнял сверхчистую воду, его внутренние компоненты, контактирующие с сверхчистой водой, обычно изготавливаются из высокочистых материалов, таких как высококачественная нержавеющая сталь, политетрафторэтилен и т. д. Эти материалы обладают хорошей коррозионной стойкостью и химической стабильностью и могут гарантировать, что качество сверхчистой воды не пострадает.
1.Производство полупроводников : сверхчистая вода используется в критически важных процессах, таких как очистка кремниевых пластин, фотолитография и травление при производстве полупроводниковых чипов. Сверхчистая вода с низким содержанием кислорода, получаемая из деаэратора при комнатной температуре, предотвращает окисление поверхности кремниевой пластины, обеспечивая электрические характеристики чипа и точность изготовления.
2.Производство жидкокристаллических дисплеев (ЖК-дисплеев) : для производства ЖК-дисплеев требуется сверхчистая вода для очистки стеклянных подложек и подготовки жидкокристаллических материалов. Сверхчистая вода, не содержащая растворенного кислорода, предотвращает появление пятен окисления на поверхности стеклянной подложки, повышая качество изображения и выход годных ЖК-дисплеев.
3.Производство электронных компонентов : качество сверхчистой воды напрямую влияет на производительность и надежность различных электронных компонентов, таких как резисторы, конденсаторы и интегральные схемы. Деаэратор с постоянной температурой может обеспечить высококачественную сверхчистую воду для производства электронных компонентов, гарантируя стабильное качество продукции.